Miejsce pochodzenia:
Chiny
Nazwa handlowa:
KACISE
Orzecznictwo:
CE
Numer modelu:
KGD-MQ-537
KGD - MQ - 537 Infraczerwony czujnik gazu
Wprowadzenie produktu
Czujnik gazu podczerwonego KGD - MQ - 537 oparty jest na technologii podczerwonego nie rozpraszającego (NDIR). Może dokładnie mierzyć gazy takie jak SiF4, CF4, SF6, NF3,i CO2 wytwarzane w zastosowaniach półprzewodnikowych. Jest kompatybilny z powszechnie stosowanymi wymiarami, obwodami i protokołami komunikacji w sprzęcie.oraz wykrywanie końcówek do czyszczenia komory, pomagają skrócić czas czyszczenia, obniżyć koszty i zwiększyć produkcję.
Cechy produktu
Parametry techniczne
Parametry | Szczegóły |
Zasada wykrywania | NDIR |
Wykryte gazy | SiF4, CF4, SF6, NF3, CO2 |
Zakres pomiarowy | 1 - 264 ppm (0 - 200 mTorr) |
Powtarzalność | ± 0,5% |
Liniowość | ± 1% F.S. |
Limit wykrywania | 1 ppm |
Wyślij do nas zapytanie