Miejsce pochodzenia:
Chiny
Nazwa handlowa:
KACISE
Orzecznictwo:
CE
Numer modelu:
KGD-MQ-537
Czujnik gazu podczerwonego KGD-MQ-537 wykorzystuje technologię podczerwonego nie rozpraszającego (NDIR) do dokładnego pomiaru gazów, w tym SiF4, CF4, SF6, NF3 i CO2 w zastosowaniach półprzewodnikowych.Zaprojektowane z uwzględnieniem kompatybilności dla wymiarów wspólnych urządzeń, brzegów i protokołów komunikacyjnych, czujnik ten jest idealny do wykrywania punktów końcowych w procesach osadzenia i czyszczenia półprzewodników, a także wykrywania końcówek do czyszczenia komory,pomaga skrócić czas czyszczenia, obniżyć koszty i zwiększyć produkcję.
| Parametry | Szczegóły |
|---|---|
| Zasada wykrywania | NDIR |
| Wykryte gazy | SiF4, CF4, SF6, NF3, CO2 |
| Zakres pomiarowy | 1-264 ppm (0-200mTorr) |
| Powtarzalność | ± 0,5% |
| Liniowość | ± 1% F.S. |
| Limit wykrywania | 1 ppm |
Wyślij do nas zapytanie